Тұндыру
Түсініктерге ие болыңыз және даму процесін тездетіңіз.
Advanced Energy маңызды жұқа пленка тұндыру қолданбалары мен құрылғы геометриялары үшін қуат көзі мен басқару шешімдерін ұсынады.Вафельді өңдеу мәселелерін шешу үшін қуатты түрлендірудің дәл шешімдері қуат дәлдігін, дәлдігін, жылдамдығын және процестің қайталануын оңтайландыруға мүмкіндік береді.
Біз РЖ жиіліктерінің кең ауқымын, тұрақты ток қуат жүйелерін, реттелетін қуат шығыс деңгейлерін, сәйкес технологияларды және процесс плазмасын жақсырақ басқаруға мүмкіндік беретін талшықты-оптикалық температураны бақылау шешімдерін ұсынамыз.Біз сондай-ақ процесті түсіну және әзірлеу процесін жылдамдату үшін Fast DAQ™ және деректерді жинау және қол жетімділік жиынтығын біріктіреміз.
Сіздің қажеттіліктеріңізге сәйкес шешім табу үшін жартылай өткізгішті өндіру процестеріміз туралы көбірек біліңіз.
Сіздің шақыруыңыз
Интегралды схема өлшемдерін үлгілеу үшін пайдаланылатын пленкалардан өткізгіш және оқшаулағыш пленкаларға (электр құрылымдары), металл пленкаларға (бір-бірімен байланыс) сіздің тұндыру процестеріңіз тек әрбір функция үшін ғана емес, сонымен қатар бүкіл пластина бойынша атомдық деңгейдегі бақылауды қажет етеді.
Құрылымның өзінен басқа, сақталған фильмдер жоғары сапалы болуы керек.Олар қажетті астық құрылымына, біркелкілігіне және конформды қалыңдығына ие болуы керек және бос болмауы керек - бұл қажетті механикалық кернеулерді (сығымдау және созу) және электрлік қасиеттерді қамтамасыз етумен қатар.
Күрделілігі тек өсуде.Литография шектеулерін (1X нм асты түйіндері) шешу үшін өздігінен реттелетін қос және төрт өрнектеу әдістері әрбір пластинада үлгіні жасау және қайта шығару үшін орналастыру процесін талап етеді.
Біздің шешім
Ең маңызды тұндыру қолданбаларын және құрылғы геометрияларын қолданған кезде сізге сенімді нарық көшбасшысы қажет.
Advanced Energy компаниясының РЖ қуатын жеткізу және жоғары жылдамдықты сәйкестендіру технологиясы барлық жетілдірілген PECVD және PEALD тұндыру процестері үшін қажетті қуат дәлдігін, дәлдікті, жылдамдықты және процестің қайталанушылығын теңшеуге және оңтайландыруға мүмкіндік береді.
Конфигурацияланатын доға реакциясын, қуат дәлдігін, жылдамдығын және процестің қайталанушылығын қажет PVD (шашырату) және ECD тұндыру процестерін дәл баптау үшін біздің тұрақты ток генератор технологиясын пайдаланыңыз.
Артықшылықтары
● Жетілдірілген плазма тұрақтылығы және процестің қайталануы кірісті арттырады
● Толық сандық басқаруы бар дәл РЖ және тұрақты жеткізу процесс тиімділігін оңтайландыруға көмектеседі
● Плазма өзгерістеріне және доғаны басқаруға жылдам жауап беру
● Адаптивті жиілікті реттеуі бар көп деңгейлі импульс өңдеу жылдамдығының таңдалуын жақсартады
● Максималды жұмыс уақыты мен өнім өнімділігін қамтамасыз ету үшін қол жетімді жаһандық қолдау