Микротолқын қуаты
-
Микротолқын қуаты
Микротолқынды коммутациялық қуат көзі IGBT жоғары жиілікті инвертор технологиясына негізделген микротолқынды электрмен жабдықтаудың жаңа түрі болып табылады.Ол анодты жоғары вольтты қуат көзін, жіпті қуат көзін және магнит өрісінің қуат көзін (3 кВт микротолқынды қуат көзінен басқа) біріктіреді.Толқындық магнетрон жұмыс жағдайын қамтамасыз етеді.Бұл өнім MPCVD, микротолқынды плазманы өңдеу, микротолқынды плазманы тазарту және басқа салаларда қолданылады.