RHH сериялы РЖ қуат көзі тұтынушыларды үлкен қуатпен, жоғары дәлдікпен және жылдам жауап беретін РЖ қуат көзімен қамтамасыз ету үшін жетілген РЖ генерациялау технологиясына сүйенеді.Фазаны орнатуға, импульсті басқаруға, сандық реттеуге және басқа функцияларға болады.Қолданылатын салалар: фотоэлектрлік өнеркәсіп, жалпақ панельді дисплей өнеркәсібі, жартылай өткізгіш өнеркәсібі, химия өнеркәсібі, зертхана, ғылыми зерттеулер, өндіріс және т.б.
Қолданылатын процестер: плазмадағы күшейтілген химиялық бу тұндыру (PECVD), плазманы тазарту, плазманы тазалау, радиожиілік ионының көзі, плазманың диффузиясы, плазма полимерленуінің шашырауы, реактивті шашырау және т.б.