TPM5 сериялы қуат контроллері модуль дизайн идеясын қабылдайды және ішіндегі 6 тізбекке дейін біріктіреді.Өнімдер негізінен диффузиялық пештерде, PECVD, эпитаксистік пештерде және т.б.